Ulvac愛發(fā)科真空泵滑閥泵維修保養(yǎng)東莞科創(chuàng)始終致力于提供創(chuàng)新的真空泵維修和尾氣處理系統(tǒng)的解決方案,應(yīng)用于各種行業(yè),從實驗室到需求多的光電、半導(dǎo)體和工業(yè)行業(yè),以及新興的太陽能和生物柴油和天燃?xì)庑袠I(yè)。我們努力降低您的運(yùn)行成本,提高您的生產(chǎn)效率和產(chǎn)成品質(zhì)量。我們提供維修
所屬分類:日本愛發(fā)科
更新日期:2024-08-12
型號:PKS-030
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Ulvac愛發(fā)科真空泵滑閥泵維修保養(yǎng)
滑閥式真空泵常見故障消除與維修
滑閥泵的常見故障與消除方法
滑閥泵的操作與維護(hù)可參照旋片泵,其故障和消除方法見表7。由于滑閥泵的結(jié)構(gòu)與旋片泵不同,大修時拆裝程序有些差異,可按下述步驟進(jìn)行。
表7 滑閥泵常見故障及消除方法滑閥泵的維修
Ulvac愛發(fā)科真空泵滑閥泵維修保養(yǎng)
1:放出冷卻水和泵油,拆下皮帶防護(hù)罩,卸下三角帶和皮帶輪;
2:拆油箱組件,拆分離器組件,拆濾油器組件,拆排氣管,拆排氣閥組件,拆進(jìn)氣管;
3:拆油管、油泵和油泵軸;
4:拆密封裝置和軸承蓋,拆左右兩端蓋及軸承,拆滑閥組件及導(dǎo)軌組件;
5:拆偏心輪、平鍵及軸。
b.滑閥泵的裝泵程序裝泵程序與拆泵程序相反。
c.拆裝泵的注意事項
1:不能直接用鐵錘敲打加工面,拆裝時防止碰傷;
2:零件裝配前清洗干凈并烘干;
3:泵裝好后密封處不得漏氣、漏油。
4:泵修目完應(yīng)進(jìn)行全性能的試驗,如其他條件不具備,至少應(yīng)試驗極限真空度。